一、电容式差压传感器将左右对称的基座2、3的外侧加工成环状波纹沟槽,饼焊上波纹隔离膜片1、4。基座内侧有玻璃层5,基座和玻璃层中央都有孔。
二、玻璃层内表面磨成凹球面,球面边缘镀以金属膜6,此金属膜层有导线通向外部,为电容的左右定极板。
三、左右对称的上述结构中央夹入并焊接弹性平膜片,即测量膜片7,为电容的中央动极板,测量膜片左右空间被分割成两个室、。
四、电容式差压传感器在测量膜片的左右两室中充满硅油,当左右隔离膜片分别承受高压pH和低压pL时,硅油的不可压缩性和流动性便能将差压Δp=pH-pL传递到测量膜片的左右面上。
五、在有差压作用时,测量膜片发生变形,也就是动极板向低压极板靠近,同时远离高压测定极板,使得电容CH=CL。
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标题:电容式差压传感器
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